




隨著近年來(lái)國(guó)防工業(yè)、科學(xué)研究、自動(dòng)化技術(shù)、精密檢測(cè),特別是微電子技術(shù)的發(fā)展,特種氣體行業(yè)新興起來(lái)。特種氣體是工業(yè)氣體中的一個(gè)新興門(mén)類(lèi),從應(yīng)用領(lǐng)域劃分,主要有電子氣體、高純氣體、標(biāo)準(zhǔn)氣體三大類(lèi)。
近年來(lái),隨著下游應(yīng)用領(lǐng)域的逐步擴(kuò)展,特種氣體的品種也與日俱增,據(jù)不完全統(tǒng)計(jì),我國(guó)已有的特種氣體達(dá)260余種。隨著非低溫氣體分離技術(shù)(吸附、膜分離)、混配技術(shù)和提純技術(shù)的發(fā)展,更多的特種氣體產(chǎn)品將逐步走向市場(chǎng)。電子氣體主要分為氫化物(超純氫、硅1烷、磷烷等),氟化物(六氟化硫、三氟化氮、四氟1化硅等),碳氟化合物(四氟化碳、六氟乙1烷等)。目前,我國(guó)電子氣體品種基本齊全,但數(shù)量和質(zhì)量與發(fā)達(dá)國(guó)家相比,尚有較大差距。隨著半導(dǎo)體和微電子工業(yè)的迅猛發(fā)展,對(duì)電子氣體的品種、數(shù)量、質(zhì)量及純度提出了更高的要求。

LED產(chǎn)業(yè)的特種氣體市場(chǎng)需求
目前,全球每年對(duì)高純電子氣體的需求速度遞增,2009年全球LED用高純度特種氣體市場(chǎng)規(guī)模已達(dá)20億美元。美國(guó)Air Product、Praxair、德國(guó)Linder、法國(guó)Air Liquid、日本昭和等幾大氣體公司在全球市場(chǎng)占有壟斷地位,年產(chǎn)能高達(dá)數(shù)千噸。
近年來(lái)隨著光電子、微電子技術(shù)的發(fā)展,特別是氮化jia技術(shù)的突破,對(duì)特種氣體的需求和技術(shù)要求愈來(lái)愈高。越來(lái)越多的生產(chǎn)廠家和用戶(hù)開(kāi)始關(guān)注原材料的質(zhì)量及其對(duì)生產(chǎn)、銷(xiāo)售和企業(yè)經(jīng)濟(jì)效益帶來(lái)的影響。

半導(dǎo)體器件性能的好壞,在很大程度上取決于所用電子氣體的質(zhì)量,電子氣體純度每提高一個(gè)數(shù)量級(jí),都會(huì)極大地1推動(dòng)半導(dǎo)體器件質(zhì)的飛躍,正因如此,發(fā)達(dá)國(guó)家都在積極發(fā)展具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的電子化學(xué)氣體,特種氣體廠家,并且取得了明顯的效果,由于電子氣體質(zhì)量決定著ic技術(shù)的發(fā)展,特種氣體生產(chǎn)廠家,而半導(dǎo)體器件又廣泛地應(yīng)用于民用和軍1工領(lǐng)域,且發(fā)展勢(shì)頭強(qiáng)勁,它影響到國(guó)民經(jīng)濟(jì)和國(guó)防的許多方面,因此,沈陽(yáng)特種氣體,有關(guān)電子氣體的生產(chǎn)、凈化、包裝、分析等在國(guó)際上多屬高度保密的技術(shù)。同光電子、微電子工業(yè)一樣,我國(guó)電子氣體的研究與生產(chǎn)起步較晚,資金投入量也顯得相對(duì)不足。改革開(kāi)放以來(lái),中國(guó)政府已將ic產(chǎn)業(yè)列為國(guó)家重點(diǎn)發(fā)展的支柱產(chǎn)業(yè),因此,電子工業(yè)、光電子產(chǎn)業(yè)、光纖制造業(yè)發(fā)展迅猛。

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